高頻火花檢漏儀的檢測原理主要基于電火花在真空系統中的放電特性。當放電端在移動過程中遇到漏孔時，分散跳躍的火花會集中起來，變成一束細長的很明亮的火花束，并且其末端正好指在漏孔上。這是因為空氣分子經過漏孔進入真空系統，當放電端移到漏孔上時，就將氣體電離。由于電離氣體的導電率遠比絕緣的玻璃等材料高，所以火花束就集中起來形成一個強烈的明亮的火花束照射在漏孔上。此外，還可以通過觀察真空系統中輝光放電現象的變化情況來粗略地估計真空系統的真空度。

 

　　利用高頻電火花來檢測真空系統的微小漏洞。當放電端在真空系統表面移動時，若無漏孔存在，火花分布很分散，在玻璃等非導電體表面跳躍位置不定。而一旦遇到漏孔，電火花會穿過漏孔進入真空系統內部，形成一個明亮的點，從而準確指示出漏孔的位置。這種檢測原理使得高頻火花檢漏儀能夠迅速發現并定位漏孔，提高檢測效率。
 

　　它不僅可以用于檢測玻璃真空系統的微小漏洞，還可以對橡塑管道、陶瓷管道等一切非導電體的真空系統進行檢漏。此外，對于金屬真空系統或容器，雖然不能直接使用高頻火花檢漏儀進行檢測，但可以通過在金屬系統上安置玻璃規管或盲管等輔助設備來進行間接檢漏。
 

　　高頻火花檢漏儀具有準確的檢測能力。其檢測速度快，能夠在短時間內完成大面積的檢測工作。同時，由于采用高頻電火花作為檢測手段，因此具有較高的靈敏度，能夠發現微小的漏孔。此外，操作也相對簡單，易于上手，使得檢測工作更加便捷。